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艾麗卡特ALICAT真空鍍膜、濺射質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器

更新時(shí)間:2023-05-19   點(diǎn)擊次數(shù):2310次

真空鍍膜系統(tǒng)內(nèi)凈化氣體和反應(yīng)氣體的輸入需要快速的響應(yīng)和精確的控制。


艾里卡特ALICAT質(zhì)量流量控制器和壓力控制器具有快速的控制響應(yīng)速度和EtherCAT通訊模式。有了這種EtherCAT通訊模式,將不再需要EtherCAT轉(zhuǎn)換器,儀表也能更輕松地整合到工業(yè)PLC網(wǎng)絡(luò)中。


適用于CVD和ALD過程的防腐流量控制器

化學(xué)蒸汽沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)過程所用腐蝕性氣態(tài)和液態(tài)前驅(qū)體需要不會(huì)隨時(shí)間推移而被腐蝕的質(zhì)量流量儀表。ALICAT艾麗卡特S系列(MC、MCES、MCVS)質(zhì)量流量控制器采用316L不銹鋼材質(zhì)的流量傳感器和FFKM彈性體,能夠忍受這些嚴(yán)酷的元素。

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老化質(zhì)量流量控制器的插入式替代品

升級(jí)為艾里卡特質(zhì)量流量控制器非常簡單。我們的MCE系列產(chǎn)品滿足SEMI對連接長度的規(guī)范要求,它可通過插入方式與眾多其它生產(chǎn)商的舊版MFC兼容。艾里卡特MCV是舊版MFC的插入式替代品,配有集成式啟動(dòng)截止閥。

適用于反應(yīng)濺射的快速氧氣流量控制

通過快速控制反應(yīng)氣體流量,確保薄膜涂層的均勻性。艾里卡特產(chǎn)品控制響應(yīng)時(shí)間僅50ms或更短,確保被引入您反應(yīng)濺射過程的反應(yīng)氣體保持一致且可重復(fù)。我們將根據(jù)您的預(yù)期過程條件設(shè)置每一臺(tái)流量控制器的PID調(diào)節(jié)功能,而且,如果您需要更改設(shè)置,您可在安裝后隨時(shí)更改這些設(shè)置。

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響應(yīng)式氣體流量控制,抑制壓力波動(dòng)

  • 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力;可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

  • 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項(xiàng),可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

  • 耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對環(huán)境影響的耐受性,我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。


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