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日本科賦樂金屬密封質量流量計

更新時間:2025-01-23

簡要描述:

日本科賦樂金屬密封質量流量計
5410系列質量流量計-金屬密封
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號更加通用

廠商性質:代理商點擊量:1149
日本科賦樂金屬密封質量流量計
產地進口加工定制
質保1年

日本科賦樂金屬密封質量流量計

5410系列質量流量計-金屬密封
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號更加通用

日本科賦樂金屬密封質量流量計

性能參數:

 

量程(N2)

10SCCM-20SLPM(另外50SLM

精度

±1.0%FS

重復性

±0.2%FS

響應時間

1秒以內

耐壓

1.0Mpa

進口大壓力

O.5Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結露)

材質

本體SUS316L

 

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標配1/4UJR

 

選配1/8UJR

重量

約800g

電器連接:

 

針腳/顏色

定義

1針腳/棕色

2針腳/白色

0-5V輸出

3針腳/紅色

+15VDC

4針腳/黑色

電源COM

5針腳/黃色

-15VDC

6針腳/灰色

7針腳/綠色

輸出COM

8針腳/蘭色

9針腳/紫色

 

 ★使用注意

一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力5公斤。

五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

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